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多年来,已经提出了许多评估microCT系统性能的方法。通常,高分辨率的限制因素是焦点尺寸。这就是为什么许多测试仅依赖于从2D投影图像确定光斑大小的原因。但是,3D中的真实空间分辨率取决于更多因素,而不仅仅是系统的机械精度。与持续时间相对较短的2D测试相比,所需的时间稳定性要求更为严格。最后,处理和重建算法对3D可获得的空间分辨率也有重大影响。
评估3D空间分辨率的一个很好的工具是可用德国QRM获得的Micro-CT Bar Pattern NANO Phantom 。体模包含两个放置在正交位置的硅芯片,包围了1至10μm的多个分辨率测试图案。
可选地,ASTM E 1695-95包含基于均匀圆柱状测试对象(例如铝销)的扫描的测试方法。3D空间分辨率通过调制传递函数进行量化。另外,给出了确定对比灵敏度的指令。
来自QRM GmbH的Bar Pattern NANO Phantom扫描的重建切片,使用SkyScan 1276高分辨率体内微型CT进行了扫描,图像像素尺寸为2.8μm。
QRM CT测试模体测试技术参数:
柱状部分:
直径:5.2 mm
总长:19.1 mm
材料:致密塑料
芯片部分:
直径:2.96 mm
总长:0.66 mm
材料:硅
芯片上图样尺寸范围:1µm至10µm
图样深度:5µm至15µm
对比材料:硅/空气
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT测试模体,MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试卡芯片上有一个倾斜的边缘(字母“L"字样)以及一个西门子星卡图样(呈放射状)。不同的图样结构均以这样的方式排布于芯片上,从而使用户仅通过一次曝光和测量就可以对整个芯片的中心以及外围的空间分辨率做出评估。
作为我们流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的进一步发展,我们现在推出BarPattern-NANO!
QRM CT测试模体技术指标 | |
基础材料: | 固体塑料(切屑放在空气中的支撑件上-壁厚> 0.3 mm) |
模体直径: | 5.2毫米 |
高度: | 19毫米 |
硅芯片的措施: | 3 x 3 x 0.66毫米 |
芯片上的结构(分辨率): | 分别为1至10 µm。500至50 LP / mm |
芯片材质: | 硅 |
图案对比 | 硅/空气 |